Оптические материалы и технологии

На рис. 3.21 показана вакуумная установка для нанесения по­ крытий методом термического испарения. Установка включает ка­ меру, состоящую из подъемного металлического колпака 7 и рабо­ чей плиты 7; подколпачное оснащение для крепления напыляемых деталей и их вращения; испарители 75 и пульт управления работой узлов и агрегатов установки. Наблюдение за процессом напыления ведется через иллюминатор 20, расположенный в колпаке, 23 24 zzza ? / / / / / / //////^///^ Рис, 3,21. Вакуумная установка для нанесения покрытий методом термического испарения: I - металлический колпак; 2 - подложка (деталь); i - приспособление; электрод очистки; J - конический ролик; резиновое уплотнение; 7-рабочая плита; S-элек'^омагнитная муфта; 9-филыр; /О-фотоэлектрическая приставка; //-высокова- куумный насос; /2-нагреватель; /i-клапан; высоковакуумный клапан; /5-форваку- умный насос; /б-клапан; /7-кран-натекатель; /5 - испаритель; /5»-поворотная заслонка; 20- иллюминатор; 21 - рефлектор; 22 - кварцевая лампа; 23 - осветитель; 24 - образец-свидетель 403