Оптические материалы и технологии

17. Какова ширина спектральной полосы узкополосного фильтра? 18. Почему тонкая оптическая пленка подобна интерферомет­ р у Фабри-Перо? Глава 2. Физические методы нанесения покрытий 2,1. Катодное распыление Сущность метода заключается в том, что поверхность като­ д а постепенно разрушается под действием ударов ионизирован­ ных атомов или молекул газа при создании электрического тлею­ щего разряда между электродами в разреженной атмосфере газов. В этом случае, частички вещества катода распыляются и осажда­ ются на подложках (оптических деталях), которые расположены на аноде или рядом с ним. Явление катодного распыления объясняется тем, что ионы газа в результате столкновения с атомами катода передают им свою ки­ нетическую энергию, которая приводит к разрушению связей меж­ ду атомами в поверхностном слое и к отрыву частиц с поверхности катода. Кинетическая энергия ионов газа частично превращается в тепловую энергию и, как следствие, происходит сильное локальное повышение температуры и испарение вещества катода. Катодным распьшением наносят пленки металлов, диэлектри­ ков, а также тугоплавких веществ. Пленки окислов металлов получа­ ют в атмосфере активного газа (кислород + аргон) и одновременно с физическими процессами распыления вещества. В этом случае про­ исходят химические реакции на катоде и в газовой фазе с образова­ нием оксидной пленки. Реактивное катодное распыление - это спо­ соб нанесения пленок в присутствии активных газов. Катодным распылением получают зеркальные, просветляю­ щие, светоделительные и интерференционные покрытия из туго­ плавких веществ. Оборудованием для катодного распыления является установ­ ка, представляющая собой вакуумную камеру, внутри которой рас­ 399