Оптические материалы и технологии

Применение лазера, позволяющего иметь большую разность хода интерферирующих лучей, дает возможность укоротить эталон­ н ую ветвь интерферометра и использовать эталонное зеркало ма­ л о г о размера. Длина же рабочей ветви и диаметр контролируемой поверхности мо г ут достигать значительных размеров. Идея использования анаберрационных точек привела к созда­ нию ряда интерферометров для контроля выпуклых и вогнутых по­ верхностей, образованных вращением кривых второ г о порядка. Для контроля поверхностей высоких порядков в рабочую ветвь вводится компенсационный объектив, преобразующий отраженный от поверхности пучок в гомоцентрический сточкой схождения, со­ впадающей с фокусом объектива 3. 5.10. Голографимеские методы контроля Голография открыла принципиально новые возможности со­ вершенствования методов и средств контроля асферических поверх­ ностей на всех стадиях их изготовления. Реализация принципов го- лографической интерферометрии позволяет вряде случаев существен­ но снизить требования к качеству оптики контрольно-измеритель­ ной аппаратуры и уменьшить трудоемкость ее юстировки, контро­ лировать изменение формы полируемых поверхностей, создавать точные оптические эквиваленты образцовых поверхностей, расши­ рять границы применимости классических теневых и интерференци­ онных методов контроля. Методы двухдлинноволновой и двухэкс- позиционной голографии позволяют снизить требования к стабиль­ ности внешних условий и регулировать чувствительность измерений. Однако наибольший практический интерес представляют ме­ тоды контроля асферической оптики на основе использования син­ тезированных голограмм, изготавливаемых по заданному уравне­ нию поверхности. Такие голограммы могут выполнять функцию либо эталонной поверхности, либо оптического компенсатора. Известно несколько методов синтезирования г оло г р амм . В большинстве зарубежных работ используется синтез внеосевых го­ лог рамм п о методу Ломана или Ли. Сущность этих методов заклю­ чается в бинарном отображении в крупном масштабе (с помощью 273