Оптические материалы и технологии

Рис. 2.123. Схема неравноплечего интерферометра Параллельный пучок от лазера 1 с помощью плоского зеркала 2 направляется в микрообъектив 3, после чего расходящийся пучок попадает н а светоделительный кубик 4. Часть пучка, проходящая светоделительный кубик, направляется на образцовое сферическое зеркало 6, центр кривизны которого совмещен спередним фокусом микрообъектива 3. Другая часть пучка, отраженная от светодели- тельной г р ани кубика, направляетсяна испытуемую поверхность 8. Пр и контроле поверхностей второго порядаса, имеющих ана- беррационные точки, одна из них совмещается с фокусом микро­ объектива 3. Отраженный от контролируемой поверхности свето­ вой пучок направляется на плоское автоколлимационное зеркало - в случае параболоида (схема Ричи) или на сферическое - в случае гиперболоида или эллипсоида (схема Хиндла), причем точка схож­ дения пучка совмещается с передним фокусом микрообъектива 3. На схеме приведен пример контроля параболоида в автоколлима­ ционной схеме с плоским зеркалом 7. Отраженные от эталона и испытуемой поверхности пучки ин­ терферируют. Интерференционная картина рассматривается через выходной зрачок 5 и может быть сфотографирована. 272