Оптические материалы и технологии

страиваемой редукцией кинематического привода и каретка, на ко­ торой установлен столик. Над столиком подвешен кронштейн, на его переднем конце закреплен металлический валик, на заднем - ре­ гулируемый противовес. Столик имеет возможность менять угол на­ клона заготовки относительно основания. Устройство размещает­ ся в специальном скафандре. Принцип работы устройства. Стеклянная заготовка помеща­ ется на столик. Валик с кареткой опускается до его соприкосновения с подложкой. С помощью противовеса регулируется давление вали­ ка на заготовку. На линию контакта валика и подложки шприцем наносятся несколько капель отфильтрованного фоторезиста, столик приводится в движение с постоянной выбранной скоростью. В ре­ зультате перемещения стола валик вращается в обратном направле­ нии и на подложке образуется тонкий слой фоторезиста. Основные технические характеристики устройства: • диапазоны перестраиваемых значений скорости движения заготовки 1 - 5; 5 - 12; 100 - 500 мм/мин • допустимые колебания скорости движения ± 0,2 мм/мин • толщина слоя, регулируемая скоростью движения подложки, углом ее наклона и вязкости светочувствительного раствора 0,2-2 мкм • плоскостность слоя, доли длины волны 1/4 не более • размеры заготовок 120x120 мм, не более • расход фоторезиста 0,2 - 0,5 мл »возможные изменения угла наклона подложки 0-30 град • масса устройства 6,5 кг • размеры устройства 250x400x200 мм 3.5.3. Технологическое оборудование для записи голограммных дифракционных решеток Основным элементом голографических схем получения ГДР является лазер. Спектральная область излучения лазеров должна согласоваться со спектральной чувствительностью светочувствительных материалов, К основным характеристикам лазеров относятся: - длина волны излучения, нм; 155

RkJQdWJsaXNoZXIy MTY0OTYy