Оптические материалы и технологии

Работа дозатора строится на следующем принципе. В съемный стакан 11 вливаются 30 - 40 мл фоторезиста. Через штуцер 12 в по­ лость А подается сжатый воздух под давлением 0,5 - 0,8 кг/см^, про­ давливающий фоторезист из стакана 11 через систему фильтров 13 в полость Б. В нормальном положении выход из полости Б закрыт клапаном 14. Для подачи дозы фоторезиста в полость В через кла­ пан 13 под давлением подается сжатый воздух. При этом шток 15 вместе с клапаном 14 приподнимается и фо­ торезист через сопло 16 вытекает на заготовку. Доза фоторезиста (0,1 - 0,5 мл) регулируется временем нахождения штока 15 с клапа­ ном 14 в верхнем открытом положении . Время срабатывания клапа­ на задается с помощью специального реле времени 9 и выбирается в интервале 0,1 - 10 с. По истечении этого времени подача воздуха в полость В прекращается и пружина //возвращает шток 15 с клапа­ ном 74 в нижнее положение. Пневматическая система оснащена филь­ трами для очистки воздуха от паров масла, влаги, частиц пыли. Воз­ дух от магистрали подводится к штуцеру 1 и подается в фильтр 2 (типа БВ 41 -13), где происходит его очистка. Далее воздух подается в регулятор давления 5 (типа БВ 57-13), на выходе которого создается стабилизированное давление порядка 4 кг/см^. Из регулятора 2 воз­ дух подается в коллектор 5, из которого имеются три выхода (два - на дозатор, один - на пневматический пистолет). От коллектора 5 воздух по трубопроводам подается к блокам фильтров 6{1), 6{2), 6(3) со стабилизаторами давления, где производится его окончательная очистка и регулировка требуемого давления. В блоке фильтра 6(1) входное давление понижается до 0,5-0,8 кг/см^ и через электропнев­ матический клапан 7 подается в верхний штуцер дозатора. Контроль давления здесь производится манометром 4(2). В блоке фильтра со стабилизатором 6(2) давление понижается до 1,6 кг/см^ и через элек­ тромагнитный клапан с реле времени 9 воздух направляется на боко­ вой штуцер дозатора. Его давление контролируется манометром 4(3). Третий вывод с коллектора соединен со стабилизатором давления 6(3). Давление в данном канале составляет 1,5 - 2 кг/см^ и контролируется манометром 4(4), где установлен пневматический пистолет, служа­ щий для обдува заготовки перед нанесением на нее фоторезиста. Элек­ тромагнитные клапаны вводятся в работу с пульта управления. 153