Оптические материалы и технологии

После изготовления готовая дифракционная решетка прохо­ дит контроль как геометрических, так и спектральных параметров. Современные методы аттестации дифракционных решеток будут рассмотрены в подразд, 3.6 данной главы. 3.4.8. Особенности технологии копирования нарезных дифракционных решеток Технология копирования позволяет изготавливать копии (реп­ лики) решеток-матриц, которые равны по качеству и характеристи­ кам самим матрицам. На некоторых решетках инверсия штриха, про­ исходящая в результате копирования, значительно увеличивает диф­ ракционную эффективность. Оптическая поверхность отражательной реплики обычно покрывается алюминием, но в некоторых спектраль­ ных областях для получения большей дифракционной эффективнос­ ти рекомендуется поверхность покрывать золотом или платиной. Типовой технологический процесс изготовления отражатель­ ной копии дифракционной решетки включает следующие операции: 1) нанесение трехслойного копирующего покрытия; 2) приготовление исходных растворов; 3) подготовку рабочей поверхности заготовки копии к скле­ иванию; 4) подготовку клея, склеивание; 5) разъем склеенной пары; 6) промывку; 7) измерение и прием-сдачу. В технологическом процессе копирования получают заштри­ хованную поверхность одновременно на всей площади дифракци­ онной решетки-копии. Исходной является нарезная или голограмм- ная решетка-матрица. Ключевым материалом является полимери- !ующаяся смола. Отражательная (со слоем алюминия) решетка-матрица в ваку­ уме обрабатывается тлеющим разрядом и покрывается слоем окси­ да кремния Si02 для защиты алюминия от коррозии в процессе мно­ гократного копирования. Затем наносится разделительный слой, служащий для понижения адгезии матрицы к копии. Далее, испаре­ 1 4 4