Оптические материалы и технологии

верхности дифракционной решетки и пространсгненпой частоты штрихов резцы должны проделать путь от сотсп метров до 75 км практически без изменения своей формы. Износ алмазных резцов зависит: 1) от резко выраженной анизотропии механических свойсчп кристалла алмаза (применяются только природные алмазы) вдоль разных кристаллических осей; 2) микротвердости (пластичности) материала металлическо­ го слоя или стекла, причем наиболее мягким является зо;ютос по­ крытие, наиболее твердым - оксид алюминия (на дна порядка выше, чем у чистого алюминия); надо иметь в виду, что микротвердость металлических пленок по толщине не постоянная величина, а изме­ няющаяся по степенному закону; 3) температурного режима в локальной области при взаимо­ действии с MeTajmHHecKHM слоем. Принимая во внимание указанные факторы износа и с целью его значительного уменьшения, перед началом процесса панееспия штрихов на рабочую поверхность заготовки решетки наносится слой минерального или силиконового масла. Это позволяет улучгнить условия скольжения резца по материалу, способствуег удалению продуктов разрушения с поверхности репгетки и снижению (выраи- ииванию) температуры в локальной области нарезки. 3.4.3. Заготовки подложек и металлические слои Вбольшинстве случаев дифра1сци0нные решетки изго гaвJШвaю•r- ся на заготовках из стекла марок ЛК7, К8 и Ф1, а решегки-этеллс па заготовках из кварцевого стекла марок KB, КИ (на отражение) и КУ (на пропускание), характеризуемых малыми значениями гемнсратур- ного коэффициента линейного расширения и химической устойчи­ востью. У заготовок полируется только рабочая поиерхносгь ст - ступлением от заданной формы по общей погрешности не более 0,1 и по местной погрепшости не более 0,05 дайны волны зеленой линии ртути. Стеклянная поверхность подложки должна быть свободной от царапин и расшлифованных пузырей. Их наличие приводитк ско­ лу алмазного резца и гювышенному рассеянному свету. 131