Оптические материалы и технологии

Приведем табл. 2,6 со специальной классификацией дифрак­ ционных решеток. В соответствии с основными снособами изготов­ ления дифршсциониые решетки бывают нарезные; голограммные; фотолитографические; решетки-копии. Таблица 2.6 Параметр Спектральная область Длина волны рентгеновская и «акуум- пая ультра­ фиолетовая 1-200 им уль'фафио- летовая и видимая 200-750IIM инфршсрасная ближняя 0,75 - 5 мкм средняя 5 - 5 0 мкм далекая SO m k m - I j S mm Частота штрихов 7200-ЮОмм-' 6 0 0 - 1 0 0 мм"' 100-25 мм"' 25-0,25 мм"' Форма поверхности заготовки Вогнутая Плоская Свойства материала Прозрачнь £ е • Ч' Отражательные Типы pCUICI'OK по их назначению Решетки для peHTix;- нопской, ультрафио- лсгговой и видимой областей спектра Эшелетты t Эшслле 1. , - 1 Измерительные Специальные Максималь­ ная длина запггрихо- ванпой по­ верхности До 100 мм До 600 мм До 500 мм В следующих главах более подробно будут рассмотрены на­ резные и голограммные дифракционные решетки и технологии их изготовления. 3.4. Технология изготовления нарезных дифракционных решеток 3.4.1. Основные положения Суть технологии изготовления нарезных дифралсционных реше­ ток заключается в том, что штриховую структуру получшот непос- 126