Информационные технологии проектирования интегральных микросхем

где S\ di и Sjdj - диэлектрическая проницаемость и толщина 1-го и 2-го слоев. Подобно материалу резистивной пленки, слой диэлектрика, параметры s и d которого определяют удельную емкость конденсатора, с точки зрения тех­ нологичности, воспроизводимости и стабильности свойств характеризуются оптимальными отношениями s/d для каждого материала и способа его нанесе­ ния. Тогда емкость конденсатора: C = C,,-S, (8,3) где Суд=0,0885 £ 4/- постоянная величина для каждого материала. В качестве материалов для обкладок пленочных конденсаторов рекомен­ дуется алюминий, который характеризуется низкой температурой испарения, сравнительно хорошей адгезией, низким значением удельного сопротивления. Пленки алюминия образуют мелкозернистую структуру, характеризуются ма­ лой подвижностью атомов, что особенно важно при изготовлении пленочных конденсаторов. В качестве диэлектрика необходимы материалы, имеюш,ие высокую ди­ электрическую проницаемость, электрическую прочность, временную и темпе­ ратурную стабильность при малых значениях тангенса угла потерь. Наиболее важным критерием выбора диэлектрического материала является его электри­ ческая прочность. В пленочных конденсаторах может происходить либо вре­ менный пробой диэлектрика (переключение), либо собственно пробой. Под пе­ реключением понимается процесс, сопровождаюш,ийся резким изменением проводимости диэлектрической пленки, но не приводятттий к необратимому её разрушению. Под пробоем подразумевается процесс, сопровождающийся необ­ ратимыми изменениями в пленке вследствие рассеяния большой тепловой мощности. Причем для одного и того же материала наблюдаются различные виды пробоя в зависимости от температуры, геометрии образцов, материала обкладок и типа проводимости. Тепловой пробой наблюдается при напряжен- ностях электрического поля 10^-^10^ В/см, а электронный пробой при полях напряженностью более 10^ В/см. С целью улучшения электроизоляционных свойств диэлектрик конденсатора формируют в виде многослойной системы, 60