Информационные технологии проектирования интегральных микросхем

ЛЕКЦИЯ 8. Расчет и проектирование пленочных конденсаторов. Конструктивно-технологические особенности и основные параметры. В ГИС применяются пленочные конденсаторы различной конфигурации, которые можно свести к трем типовым конструкциям. 3 К к < • / N 1 ' \ г/.- / ' / 1 1 а) шшШш в) где К - компенсатор б ) Рис. 8.1 Пленочные конденсаторы типа а) и б) представляют собой многослойную структуру, нанесенную на диэлектрическую подложку в следующей последова­ тельности: проводящий слой 1, выполняющий роль нижней обкладки; слой ди­ электрика 2 и проводящий слой 3, выполняющий роль верхней обкладки кон­ денсатора. На рис. 8.1в изображена конструкция гребенчатого конденсатора, емкость которого в основном определяется емкостью, обусловленной краевым эффектом и конструктивно представляющего собой две металлизированные области, нанесенные на верхней поверхности подложки. Пленочные конденсаторы характеризуются совокупностью следующих параметров: Со - номинальное значение емкости, ^ +4 - допуск на емкость, ^ [/р - рабочее напряжение, ^ Qc- добротность, i?yT - сопротивление утечки, температурный коэффициент ТКС, ^ диапазон рабочих частот. 58