Информационные технологии проектирования интегральных микросхем

Любые виды обработки, изменяющие геометрические размеры резисторов, приводят к уменьшению эффективной площади теплоотвода, что приводит к повышению удельной рассеиваемой мощности и интенсификации процессов окисления. Наименьшее влияние на временную стабильность производит про­ цесс подгонки удалением резистивного материала по краю резистора. С целью уменьшения влияния процесса подгонки на стабильность рези­ сторов применяют конструкции со специальными подгоночными участками (см. рис. 6.2). а й 6 2 д Рис. 6.2 У тонкопленочных резисторов, подвергавшихся лазерной обработке, наблюдается изменение сопротивления во времени в зависимости от степени подгонки, причем наибольшее у резисторов, подогнанных в сторону уменьше­ ния сопротивления. При этом существует линейная зависимость между относи­ тельным изменением сопротивления и степенью его подгонки в сторону уменьшения сопротивления (см. рис. 6.3). 46