Информационные технологии проектирования интегральных микросхем

ЛЕКЦИЯ 6. Расчет и проектирование прецизионных резисторов. Если к точности изготовления резисторов предъявляются повышенные требования, не обеспечиваемые существующим технологическим процессом, то при конструировании необходимо заранее предусмотреть возможность измене­ ния сопротивления каким либо способом. Выбор оптимального метода подгонки применительно к используемому резистивному материалу и техпроцессу изготовления является важной задачей при проектировании прецизионных резисторов. При этом наряду с требования­ ми возможности более плавной подгонки сопротивления резистора с заданной точностью важным критерием выбора является минимальное ухудшение экс­ плуатационных характеристик подгоняемых резисторов, сохранение их вре­ менной и температурной стабильности. По характеру воздействия на подгоняемый резистор методы подгонки можно разделить на группы, основанные на изменении электрофизических свойств резистивного материала, и группы, основанные на изменении геомет­ рических размеров резисторов. К первой группе относятся методы, использующие термическое, химиче­ ское и электрохимическое воздействие на подгоняемый резистор, обработку высокочастотным разрядом и др. При подгонке сопротивления резисторов путем изменения их геометри­ ческих размеров применяют механическое скрайбирование, выжигание, испа­ рение с помощью сфокусированного луча ОКГ, электроннолучевую, электро­ эрозионную обработку. Однако следует учитывать, что применение дополни­ тельной технологической обработки с целью повышения точности неизбежно оказывает влияние на их временную и температурную стабильность, а также повышает уровень шумов. В частности, при температурном отжиге тонкой резистивной пленки в ее структуре протекают процессы упорядочения структуры, увеличения размеров кристаллитов и образования между ними мостиков проводимости, сопровож­ 43