Оптические материалы и технологии

Пробные стекла прижаты с краю к детали ПС •S1 Деталь Идеальная поверхность ^>H «t Бугор Яма Рис. 2.6. Схема измерения обп1ейошибки контролируемой поверхности Если максимальный зазор в центре, то интерференционные кольца при нажатии на ПС сходятся к центру. В этом случае откло­ нение является «ямой» и его называют узким или мелким «цветом». Оценку отклонений осуществляют визуально по числу види­ мых интерференционных колец. Одно интерференционное кольцо соответствует зазору 0,25 мкм при освещении зеленым светом {X = 540 им). Таким образом, значениям N пропорциональна тол­ щина слоя, которую надо сполировать, чтобы отклонение контро­ лируемой поверхности было меньше допустимого значения. Если слегка прижать край ПС, между поверхностями ПС и де­ талью образуется воздушный клин, а интерференционная картина будет состоять из изогнутых полос. При знаке «+» сферическая поверхность имеет общий «бугор», а при знаке «-» - общую «яму». Плоская поверхность при знаке «-ь» имеет слегка выпуклую форму, а при знаке «-» - слегка вогнутую. hN - предельно допустимое отклонение формы поверхности от плоской или сферической формы (местная ошибка). Если поверхность детали имеет местные отклонения, то они приводят к местным искривлениям интерференционных полос, ко- т'орые оцениваются отношением изогнутости к ширине интерфе- >енционных полос d l (рис. 2.7). О