Оптические материалы и технологии

5.1. Волноводные методы измерения параметров тонких пленок 423 5.1.1. Свойства волн в оптических волноводах 423 5.1.2. Возбуждение волноводных м о д 427 5.1.3. Оптическая схема и методика волноводных измерений 428 5.2. Методы измерения параметров пленок 438 5.3. Анали з погрешностей методов 443 5.4. Оборудование для волноводных измерений 445 5.5. Оборудование для техпроцессов вакуумного нанесе­ ния пленок 445 5.6. Контроль характеристик оптических покрытий 446 Приложение 454 Список литературы 468