Оптические материалы и технологии

3.4. Технология изготовления нарезных дифракционных решеток 126 3.4.1. Основные положения 126 3.4.2. Алмазные резцы 129 3.4.3. Заготовки подложек и металлические слои 131 3.4.4. Особенности технологии изготовления эшелет- тов и эшелле 134 3.4.5. Эксплуатационные условия в помещениях делительного участка 137 3.4.6. Требования к качеству изготовления нарезных решеток 138 3.4.7. Типовой технологический процесс изготовления нарезной решетки-матрицы 139 3.4.8. Особенности технологии копирования нарезных дифракционных решеток 144 3.4.9. Особенности технологии изготовления вогнутых решеток с переменным шагом и непрямолинейными штрихами... 145 3.5'. Технология изготовления голограммных дифракцион­ ных решеток 148 3.5.1. Основные положения 148 3.5.2. Технология нанесения светочувствительных слоев 150 3.5.3. Технологическое оборудование для записи голограммных дифракционных решеток 155 3.5.4. Методы получения профилированных голограм­ мных дифракционных решеток 161 3.5.5. Технологическая контрольно-измерительная аппаратура 163 3.6. Методы и оборудование для аттестации параметров дифракционных решеток 167 Глава 4. Технология изготовления синтезированных голограммных оптических элементов 174 4.1. Обш,ие положения 174 4.2. Расчет синтезированных голограммных оптических элементов 180 48,0