Оптические материалы и технологии

3. Очистка подложек (деталей). Оптические детали чистят обезвоженным этиловым спиртом, на руки надевают обезжирен­ ные резиноные перчатки. С помощью беличьей кисточки удаля­ ют 1п>шинки с аоиерхпости деталей. Периодически кисточку про- мьтают в эфире и тщачезшно просушивают. 4. Ра:;реже1ше н камере. Последовательным включением ва­ куумного 15 и диффузионного насосов 11 создают разрежение в камере, причем, при закрытом клапане 14, натекателе 17 и откры- т'ом KJtauane 16 включают насос 15 и нагреватель 12 диффузионно- 10 пасоса 11. noc j f e о ткачки воздуха из камеры до давления 1,33 Па и про- 1'рена диффузиоинох'о насоса И открывают клапан 13, соединя­ ющий насосы 11 ц 15. Одновременно приводятся во вращение при­ способления с деталями и включается высокое напряжение 1,5 2,5 кВ па электрод очистки 4 подложек тлеющим разрядом. Тлеющий разряд в виде плазмы воздействует иа поверхность под­ ложек, т.е. происходит бомбардировка их заряженными части­ цами, что способствует отделению загрязнений и газовых пузырь­ ков, а т'акже превращению органических осадков в летучие со­ единения в результате химических реакций с диссоциированным кислородом. По окончании очистки, клапан 16 закрывают, открывают кла­ пан 1 и диффузионным насосом 11 откачивают воздух до давления 1,33 • 10 ^ -•6,6- 10" Па, 5. Испарение пленкообразующего вещества. Этот процесс на- чипают при достижении внутри камеры необходимого разреже­ ния ъо-лдух'л. Далее, вкзпочив напряжение на испаритель 18, испа­ ряют поверхностный загрязненный слой вещества, при этом, эк­ ранируя ноток частиц поворотной заслонкой 19. Затем заслонку поворачивают и молекулы напыляемого вещества направляются к подложкам. Толщина напыляемой пленки контролируется фо­ тометрическим ус'фойством, которое имеет фотоэлектрическую арис ч'авку 10, фиксирующую изменение коэффициента пропуска­ 406