Оптические материалы и технологии

тров для снижения уровня излучения всех остальных источников, а модуляция зондирующего излучения позволяет электрическими методами снизить уровень помех посторонних источников в рабо­ чей полосе приема. Для активной подсветки цели используются лазерные источни­ ки излучения на стекле с неодимом или полупроводниковые лазеры на GaAs. В первом случае длина волны излучения равна 1,06 мкм, а во втором - 0,9 мкм. Из общего спектра отраженного излучения, попадающего на фотоприемник, необходимо предварительно выде­ лить длину волны подсветки, так как в противном случае выделить сигнал подсветки практически невозможно. На приемник приходит ослабленный большим расстоянием до цели отраженный сигнал под­ светки, его энергия много меньше интенсивности общего падающего излучения, что и не позволяет выделить этот сигнал на общем фоне даже при использовании модуляции полезного сигнала и его усиле­ ния на частоте модуляции без применения узкополосного фильтра. Для фильтрации узкополосного сигнала, каким является ла­ зерное излучение, используются узкополосные интерференционные фильтры типа сдвоенного интерферометра Фабри - Перо, что по­ зволяет придать спектральной характеристике фильтра П-образную форму. В качестве материалов слоев для изготовления фильтров, выделяющих указанные длины волн, используются сульфид и селе- нид цинка, фторид магния, кремний и окислы металлов. Наиболее подходящим для использования в качестве слоя с высоким показа­ телем преломления в этом случае оказывается аморфный кремний, по своим свойствам очень напоминающий германий. Свойства амор­ фного кремния описаны в обширной литературе, так как этот мате­ риал нашел широкое применение в современной электронике и из­ готовлении солнечных батарей. Получение слоев аморфного крем­ ния методом испарения в вакууме сопряжено с некоторыми трудно­ стями, связанными с высокой химической активностью, высокой температурой испарения и ростом пленки окисла на испаряемом материале, что резко усложняет сам процесс испарения. Именно поэтому в практике нанесения оптических покрытий кремний на­ чал использоваться только недавно. 160