Оптические материалы и технологии

жается от нее, сохраняя свою параллельность при помощи сферичес­ кого зеркала, центр которого совмещен с фокусом этой поверхности. Схема интерферометра изображена на рис. 2.134. Выходящий из коллиматора 5 параллельный пучок лучей разделяется светоде- лительной пластинкой 3 на два пучка, один из которых падает на контролируемую поверхность детали 1 и, отразившись от нее и от сферического зеркала 2, идет в обратном направлении и интерфе­ рирует с параллельным пучком, отразившимся от плоского эта­ лонного зеркала 4. Интерференционная картина рассматривается в телескопическую лупу 6. Метод может быть приме- приводится в соприкосновение с проверяемой поверхностью, а воз­ никшая при этом картина в виде интерференционных колец фото­ графируется. Реализация метода предусматривает устройство, позволяю­ щее определить точки соприкосновения последовательно прове­ ряемых участков в прямоугольной системе координат. Форма ин­ терференционных колец на отдельных участках и их взаимное рас­ положение должны, по замыслу автора, определить форму повер­ хности в целом. ней в сравнительно редких слу­ чаях: при изготовлении выпук­ лых параболических поверхно­ стей высокой точности, имею­ щих при этом в центре нерабо­ чую зону. Локальная микроинтерфе- ренпия. Способ заключается в проверке контролируемой по­ верхности интерференционным методом в результате оценки форм отдельных небольших уча­ стков этой поверхности с учетом их взаимной ориентации. Здесь оптическая образцовая сфера Рис. 2.134. Контроль выпуклых параболоидов в схеме интерферометра с вогнутой сферой 296