Оптические материалы и технологии

тин,по которым определяются величина и характер дефектов конт­ ролируемой поверхности. Для реализации метода разработан ряд специализированных приборов, обеспечивающих контроль с интерферометрической точ­ ностью практически всех видов асферических поверхностей второ­ го и высших порядков. На рис. 2,82 приведены варианты основных принципиальных оптических схем, применяемых для контроля с помощью осевых СГОЭ оптических элементов различных типов. 1 ж 4 2 3 2 т 8 х 3 " ' ' Г з 3 ^ X V' 1 —ЧТ"^ 1 9 ^ f \ | L i \ ж 3 1 1 о 1 1 1 i 1 1 2 й 3 1— _j Рис. 2,82. Таблица основных вариантов принципиальных схем контроля вогнутых и выпуклых асферических поверхностей в отраженном и проходящем свете с помощью СГОЭ: / (/') - точечный источник света (его изображение): 2 - СГОЭ; 3 - тестируемый элемент; 4 - вспомогательный оптический элемент (сферическое зеркало, линза) Схемы В левом столбце - для контроля вогнутых поверхнос­ тей, вцентре-для контроля выпуклых поверхностей, в правом стол- 194