Оптические материалы и технологии

который возникает при подводе иглы на расстояние около десяти ангстрем к поверхности образца. Для его возникновения необходи­ мо, чтобы образец и игла были проводниками, либо полупровод­ никами. Туннельный ток усиливается в предусилителе, установлен­ ном на том жеюстировочном столике, что и игла, и попадает в цепь обратной связи, а также после аналого-цифрового преобразовате­ ля становится сигналом, который регистрируется программой об­ работки и построения изображений сканируемой поверхности. Общее управление и обработка полученной с помощью СЗМ ин­ формации ведется с использованием персонального компьютера. Имеющиеся программные обеспечения позволяют наглядно и удобно представлять полученные изображения микрорельефа как трехмерно­ го объекта, так и различные его сечения. Полученные изображения позволяют судить о качестве изготовленного микрорельефа решетки, классифицировать и устанавливать причины возникновения дефектов без повреждения поверхности оптического элемента. Компьютерная обработка полученных экспериментальных данных позволяет дета­ лизировать отсканированный фрагмент дифракционной решетки. Высокая точность (разрешающая способность СЗМ по гори­ зонтальным координатам Z и У ~ не хуже 10 им, по вертикальной координате Z - не хуже 1 нм) и существенно меньшая цена по срав­ нению с электронными микроскопами (на несколько порядков), неразрушающий способ контроля позволяют классифицировать СЗМ как эффективное средство измерений при изготовлении диф­ ракционных решеток. Контрольные вопросы 1. Охарактеризуйте этапы развития технологии изготовления дифракционных решеток, 2. Дайте определение дифракционной решетке и ее основным типам. Какие геометрические параметры характеризуют дифракци­ онную решетку? 3. Дополните табл. 2.6 новыми классификационными крите­ риями для более точного описания всей совокупности имеющихся дифракционных решеток. 4. Поясните взаимодействие основных составляющих механичес­ кого способа изготовления дифракционных решеток: «делительная 172