Оптические материалы и технологии
Излучение лазера 1 с помощью зеркал 7 и светоделителя 4 направляется на окуляры двухзеркальных телескопических сис тем (5,3'). Сформированные ими «коллимированные» пучки лазер ного света с помощью плоских поворотных зеркал 5 и 5' направля ются на кассетный узел 11, в котором далее устанавливается заго товка со светочувствительным слоем. Контроль частоты осуществляется с помощью прозрачной ди фракционной решетки, предварительно устанавливаемой в кассет ный узел. Изменение частоты интерференционных полос(перестройка схемы) происходит при развороте основных зеркал 5 и 5'. При этом кассетный узел 11 перемещается сконтрольной решеткой б вдоль цен трального направляющего рельса в зону полного совмещения пуч ков света. Решетка 6 заменяемая. При изготовлении решеток с низкой частотой штрихов (до 300 мм"') вводятся зеркала 8 а 8', обеспечиваю щие получение малых углов между интерферирующими пучками. При этом юстировкой узлов 5 и 5' (5 и 8') вокруг вертикальной и горизон тальной осей добиваются такого положения, когда дифрагированные пучки «±» первых порядков дифракции образуют за решеткой ин терференционную картину с «бесконечно широкой» полосой. Телескопические системы внеосевого типа имеют угол 3°17' между осями зеркал J и 5' при базе между ними 2500 мм. Аберрации коллимирующих систем не превышают2 - 3 угловых секунд. Уве личение системы меняется от 20" до 185" спомощью шести заменяе мых зеркал 5, смонтированных на оправе револьверного типа. Све товой диаметр сферических зеркал 3 составляет 252 мм. Узел светоделителя (элементы 4, 7, 9, 10,12) смонтирован на од ном основании, имеющем подвижку вдоль падающего луча, из-за чего обеспечивается возможность компенсации «разности хода» в плечах установки при ее контроле (с помощью фотоприемника 2') по виднос- ти интерференционной картины, образуемой за решеткой. Этим же способом контролируется (с помощью фотоприемника 2) визуально когерентность используемого источника света, которая при необхо димости может регулироваться с помощью эталона Фабри - Перо. Установка оснащается прибором активной стабилизации поло жения интерференционных полос. Для его работы в кассетном узле б 157
Made with FlippingBook
RkJQdWJsaXNoZXIy MTY0OTYy