Оптические материалы и технологии

Ограничение вибраций. При вибрациях в делительной маши­ не происходят относительные неконтролируемые перемещения ее деталей и узлов, которые являются одной из причин погрешностей деления, влияющих главным образом на увеличение рассеянного света. Вибрации возбуждаются механизмами самой машины, коле­ баниями почвы и зданий и в некоторых случаях связаны с особен­ ностями процесса нанесения штрихов. Частоты их лежат в диапазо­ не от 0,25 до 200 Гц, Для антивибрационной установки делительных машин ранее применялись специальные фундаменты большой массы, опирающие­ ся нагрунт и изолированныеот фундаментов зданий. Сейчас отдает­ ся предпочтение пружинным антивибрационным устройствам с соб­ ственной частотой колебаний порядка 1 Гц, что в 2-6 раз выше час­ тоты работы основных механизмов машины. Они хорошо гасят ос­ новной спектр производственных вибраций от 10 Гц и более. Дели­ тельная машина монтируется на пружинном антивибрационном уст­ ройстве вместе с подцерживающи м ее тяжелым основанием, которое уменьшает влияние вибраций, возникающих в самой машине. ^ 3,4.6. Требования к качеству изготовления нарезных решеток Остановимся на наиболее важньгх параметрах нарезных диф­ ракционных решеток и требованиях к этим параметрам: - период (шаг, постоянная) решетки, обозначаемый е, т.е. рас­ стояние между соседними штрихами; требование- необходимо обес­ печить одинаковую величину периода на всей заштрихованной по­ верхности с точностью от 10 до 0,5 % от е в зависимости от вида погрешности, или, что то же, с точностью 1/40 средней длины вол­ ны в исследуемом спектральном интервале; - накопленная погрешность деления нарезной дифракционной решетки, рассчитанная по усредненному периоду (шагу), не должна превышать 0,3 мкм на любом ее участке; - параллельность штрихов между собой; в зависимости от раз­ меров заштрихованной поверхности допустимый наклон любого штриха относительно первого составляет от 1" до О, 03"; - допуск на прямолинейность штрихов менее строгий, но необходимо, чтобы все штрихи имели одинаковую форму. 138