Оптические материалы и технологии

сивные источники монохроматического излучения и мелкозернис­ тые фоточувствительные материалы. К середине 60-х годовX X века появились ионные лазеры и фоторезисты (незернистые фоточувстви­ тельные материалы); лазеры излучали интенсивную монохромати­ ческуюлинию, а фоторезисты обладали фотоактивностью на моле­ кулярном уровне, а не на кристаллическом (в отличие, например, от фотографической пленки). В 1967 году Рудольф и Шмаль из Гет- тингенского университета (ФРГ) и Лябейри и Фламан (Франция) независимо друг от друга получили первые голограммные дифрак­ ционные решетки спектроскопического качества. Самое полезное свойство современных дифракционных реше­ ток-это доступность огромного диапазона пространственной час­ тоты штрихов (от 0,25 до 7200 мм~') и их высокое качество в насто­ ящее время уже считается не требующим доказательства. К самым новым разработкам в области технологии нарезных дифракционных решеток и делительной техники относятся два за­ щищенных патентами технических решения: - способ изготовления дифракционных решеток и устройство (пантограф); -делительная машина маятникового типа. Новый способ изготовления дифракционных решеток и уст­ ройство (пантограф) позволяют переносить точное расположение штрихов с голограммной дифракционной решетки, выступающей эталоном, на изготавливаемую нарезную решетку, которая профи­ лируется алмазным резцом, В качестве чувствительного элемента для сканирования голограммной дифракционной решетки предло­ жен растровый туннельный микроскоп. В устройстве имеется сле­ дящая система с обратной связью, позволяющая корректировать положение головки туннельного микроскопа относительно эталон­ ного штриха в трех взаимноортогональных направлениях. Соответ­ ственно будет корректироваться положение алмазного резца по отношению к изготовляемому штриху, В патенте также отмечает­ ся, что вместо алмазного резца в качестве формирующего инстру­ мента может быть использован сфокусированный лазерный луч или электронный пучок. При формировании штрихов заготовка 118