Xl Туполевские чтения : всероссийская (с международным участием) молодежная научная конференция. Казань, 8-10 октября 2003 г., тезисы докладов. Т. 3

Экспериментальное изучение структуры тонких плёнок по зависимости ТКС от температуры P.P. Хусаинов Научный руководитель: Ф.Х. Вахитов, к.ф.-м.н., доцент Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева С каждым днём требования к качеству тонких плёнок возрастает, по­ этому новые способы изучения параметров плёнок остаются актуальными и по сей день. Температурный коэффициент сопротивления (ТКС) является одним из важнейших характеристик материала для микроэлектроники. Электро­ проводность металлов определяется зависимостью средней длины свобод­ ного пробега электронов от температуры. Почти для всех материалов с хо­ рошим приближением выполняется соотношение a*p=const. где а-температурный коэффициент сопротивления, р-удельное сопротив­ ление материала. В тонких плёнках постоянство произведение этих характеристик указывает на совершенство плёночного образца и характеризует правиль­ ность режимов получения плёнки, основные из которых: скорость напыле­ ния, температура подложки и давление остаточных газов в вакуумной ка­ мере. В данной работе изучена структура тонких плёнок из различных ма­ териалов, путём снятия зависимости ТКС от температуры. Материалы ис­ пользовались, как резистивные, так и токопроводяшие. Напыление на си- талловую подложку проводилось с помощью катодного распыления. Затем гальваническим методом наносились медные контактные площадки. Оп­ тическим методом на микроинтерферометре МИИ-4 определялась толщи­ на напылённого слоя d, а сопротивление квадрата R с помощью прибора МО-62. По полученным значениям R и d по формуле p=R *d рассчитали значение удельного сопротивления р,экспериментальное значение р сравнивалось со значением р, характерного для объёмного материала. Определялась толщина плёнки d=p/R по результатам измерения. Снималась зависимость сопротивления квадрата от температуры в температурном диапазоне от 20 до 150 градусов. Зависимость снималась, как при нагреве, так и при охлаждении об­ разцов. При охлаждении до исходной температуры R о оказывалась мень­ ше R одо нагрева. Значения коэффициента^,определяемые из этой зависимости по­ зволили судить об изменениях структуры тонких плёнок. 177