Xl Туполевские чтения : всероссийская (с международным участием) молодежная научная конференция. Казань, 8-10 октября 2003 г., тезисы докладов. Т. 3

Разработка конструкции и технологии изготовления гибридной интегральной схемы таймера-сигнализатора И.И. Колесар Научный руководитель: Н.Р. Гайнуллина, к.т.н., доцент Казанский государственный технический университет им. А.Н. Туполева Преимущество гибридной технологии состоит в достаточно высоком проценте выхода годных изделий. Брак, возникающий при изготовлении, часто можно исправить. Методы pac4eia и проектирования гибридных инте- фальных схем (ГИС) практически не отличаются от методов расчета обычных электронных схем. Однако подложка ГИС мала, изготовлена из высококачественного диэлектрика, из-за мапых паразитных емкостей и хорошей взаимной изоляции элементов и компонентов ГИС имеет лучшие электрические свойства, чем схема, собранная из дискретных "больших" эле­ ментов. ГИС наиболее часто применяются в прецизионной аппарату ре. Гибридная технология позволяет относительно быстро создавать электронные устройства с достаточно сложными функциями, а освоение гибридной технологии доступно практически любому предприятию. Повышение степени интеграции современных микросхем значительно ус­ ложняет их топологию и увеличивает вероятность брака в производстве. В связи с этим при проектировании интегральных микросхем значительная часть усилий должна быть направлена на развитие методов проектирования оптимальной то- полог >1И, которая наряду с оптимальными технологическими режимами ведет к снижению брака и повышению эффективности производства. На основе заданной электрической схемы разработаны топология и конструкция ГИС таймера-сигнализатора. Проведенный анализ схемы позволил выбрать технологический про­ цесс изготовления пленочных элементов, тип корпуса. В работе приведено описание базового технологического процесса, описание оборудования и оснастки для выполнения операций. Плёночная технология состоит из последовательных операций, в результа­ те которых происходит формирование различных слоев (резистивного, проводящего, и т.п.) из соответствующих материалов. В работе приведено обоснование выбора материалов. Произведена оценка преимущества выбранной технологии. Представлена методика расчета топологии и геометрических разме­ ров элементов, разработан технологический процесс их изготовления. Разработан технологический процесс сборки ГИС таймера- сигнализатора. Разработанное устройство может быть использовано во всех сферах, где требуется производить отсчет интервалов времени. 172