В.И. Крючатов УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ДИСЦИПЛИНЫ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕКТРОННЫХ СРЕДСТВ: КОНСПЕКТ ЛЕКЦИЙ

Материалы Ferro для LTCC технологии. Компания Ferro получила широкую известность среди разработчиков и производителей СВЧ электроники благодаря высоким техническим харак­ теристикам, надёжности и качеству материалов для LTCC технологии. Низкотемпературная совместно обжигаемая керамика Ferro более 20 лет присутствует на рынке СВЧ электроники. Она активно применяется ве­ дущими производителями для создания компонентов радарных систем, ан­ тенн, фильтров и телекоммуникационных изделий. ГЕостоянные глубокие исследования в области материалов для электроники позволяют компании Ferro занимать лидирующие позиции на рынке. LTCC системы включают в себя полный спектр материалов. Среди них керамический порошок, керами­ ческие ленты и листы, пасты для создания внутренних и внешних проводни­ ков, пасты для метал- лизации переходных отверстий, пасты для создания встроенных резисторов. Керамические материалы и металлические пасты подобраны с учётом полного согласования материалов. Основные решения Ferro для LTCC технологии представлены тремя основными системами материалов: • Система А6-М: основной компонент LTCC керамики Ferro. За­ патентованный стеклокерамический материал для высокочастотных прибо­ ров (до ПО ГГц) с низким значением вносимых потерь. Данная LTCC си­ стема создана для изделий с повышенными требованиями к надёжности. Поставляется в виде керамической ленты. Металлизация на основе золота. • Система A6-S: альтернатива А6-М для СВЧ изделий. A6-S со­ здана на основе запатентованного кальциевого боро-силикатного стекла для недорогих СВЧ устройств, работающих в диапазоне от 2,45 до 100 ГГц. LTCC система на основе смешанной металлизации (золото + серебро). По­ ставляется в виде керамической ленты или порошка. • Система L8: бюджетная альтернатива LTCC системе А6. Стек­ локерамический материал для модулей, корпусов, подложек и сложных LTCC компонентов. Стабильное значение К и малые потери до 30 Ггц. Ис­ пользуется для создания низкочастотных и среднечастотных приборов для телекоммуникации, радарных систем, авионики, спутниковой техники и других задач. Поставляется в виде керамической ленты или порошка. Си­ стема совместима с золотой, серебряной и смешанными металлизациями, специально созданными для данной системы. Основными преимуществами металлических паст Ferro, созданных для различных типов керамики, являются высокие характеристики и полная технологическая совместимость с керамическими листами. Металлические пасты Ferro отличаются высокой адгезией к керамическому основанию, со­ ответствием КТР и коэффициентов усадки аналогичным параметрам кера­ мических листов, низким удельным сопротивлением и стабильностью элек­ трических характеристик. При термообработке в металлизации не образуют­ ся поры и пустоты. Металлизация для переходных отверстий позволяет со­ здавать качественное соединение металлов разных уровней и не вызывает образования трещин в материале керамики. Поверхностная металлизация 239