Металлографический анализ

97 РАЗДЕЛ 8. ОСНОВЫ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ [6] В настоящее время наиболее широко используется растровый электронный микроскоп (РЭМ). Принцип действия РЭМ основан на использовании некоторых эффектов, возникающих при облучении поверхности объектов тонко сфокусированным пучком электронов  зондом. Как показано на рис 8.1, в результате взаимодействия электронов  1 с образцом (веществом)  2 генерируются различные сигналы. Основными из них являются поток электронов: отраженных  3, вторичных  4, оже-электронов  5, поглощенных  6, прошедших через образец  7, а также излучений: катодолюминесцентного  8 и рентгеновского  9. Для получения изображения поверхности образца используются вторичные, отраженные и поглощѐнные электроны. Остальные излучения применяются в РЭМ как дополнительные источники информации. Рисунок 8.1. Эффекты взаимодействия электронного луча с объектом.1 – электронный луч, 2 – объект, 3 – отраженные электроны, 4 – вторичные электроны, 5 – оже- электроны, 6 – ток поглощенных электронов, 7 – прошедшие электроны, 8 – катодолюминесцентное излучение, 9 – рентгеновское излучение Важнейшей характеристикой любого микроскопа является его разрешающая способность. Она определяется площадью сечения или